Физические методы, наиболее часто используемые в настоящее время для исследования наноструктур и поверхности твердого тела, представлены в табл. 1. В основу данной таблицы положена группировка методов по способу внешнего воздействия на исследуемый объект и по типу регистрируемого ответного сигнала. Внизу таблицы дана расшифровка сокращенных названий перечисленных в ней методов.
Разные методы позволяют получить различную информацию об исследуемом объекте. Как правило, при анализе наноструктур и поверхности твердого тела наиболее важной является информация об их атомной структуре, элементном составе и электронных свойствах.
Таблица 1 - Основные физические методы исследования наноструктур и поверхности, сгруппированные по типам воздействия на исследуемый объект и регистрируемого сигнала, hv - электромагнитное излучение, е-, N+- - пучки ускоренных электронов и ионов. Т-температура
|
Регистрируемый сигнал | |||||
|
Воздействие на ииследуемый объект |
hν |
e- |
N± |
Прочее | |
|
hν |
РСА, РЭС, РАС |
РФЭС, УФЭС, ФЭС, РОЭС | |||
|
e- |
РСМА, ИФЭС |
ОЭС, ДМЭ, РЭМ | |||
|
N± |
ИНС |
СРМИ, СРБИ, ОРР, ВИМС | |||
|
Т, поле, прочее |
СТМ, СТС |
ПИМ, ТПД |
АСМ, МСМ | ||
Так, метод ДМЭ (дифракция медленных электронов) позволяет определить структуру кристаллической решетки образца, РЭМ (растровая электронная микроскопия) используется для исследования морфологии объектов с размерами >10 нм, а СТМ (сканирующая туннельная микроскопия) и АСМ (атомно-силовая микроскопия) позволяют наблюдать отдельные атомы на поверхности твердого тела. Кроме того, некоторые методы предъявляют определенные требования к исследуемым образцам. Например, методы СТМ (сканирующая туннельная микроскопия), СТС (сканирующая туннельная спектроскопия) применимы только для проводящих образцов, МСМ (магнитно-силовая микроскопия) - для исследования магнитных материалов, ПЭМ (просвечивающая электронная микроскопия) используется для анализа тонких пленок.
Самое читаемое:
Изготовление цифрового прибора для контроля осанки и зрения при работе на персональном компьютере
Современную жизнь невозможно представить без электроники и ее важнейшей
отрасли - микроэлектроники. В любом месте - на работе и в быту - изделия из электроники
окружают человека. Она трудится повсюду - в сверхглубоких скважинах и в
подводных аппаратах - батискафах, в самолетах и космических кораблях, на
атомных электростанциях и рад ...