Разделы сайта

Устройство СЗМ Solver HV

Основные узлы СЗМ Solver HV представлены на рисунке 2.

Рисунок 2 - Основные узлы СЗМ Solver HV 1 - вакуумная камера: 2 - шкаф электроники; 3 - турбомолекулярный насос; 4 - виброизолирующий стол; 5 - видеомикроскоп: 6 - форвакуумный насос; 7 - система охлаждения

Вакуумная камера 1 (Рис. 2) установлена на виброизолирующем столе. Откачка воздуха из камеры производится форвакуумным 6 и турбомолекулярным 3 насосами. Контроль давления в камере осуществляется форвакуумным и высоковакуумным вакуумметрами.На Рис. 3 представлена блок-схема Solver HV. В камере на внутренней демпфирующей системе подвешена измерительная головка 2. Измерительная головка через переходные вакуумные разъёмы подключена к СЗМ контроллеру 5, который в свою очередь подключен к управляющему компьютеру.

Рисунок 3 - Блок-схема Solver HV: 1 - вакуумная камера, 2 - измерительная головка, 3 - турбомолекулярный, 4 - форвакуумным насос, 5 - СЗМ контроллер, 6 - компьютер, 7 - виброизолирующий стол

Самое читаемое:

Диагностика и ремонт СВ-передатчика
Провести ремонт радиоэлектронного изделия, значит восстановить его работоспособность. Чтобы провести ремонт необходимо определить является ли изделие ремонтопригодным. При ремонте узлы изделия могут быть заменены полностью или частично. После проведения замены элементов в ремонтируемом изделии необходимо провести регулировки и наст ...