Разделы сайта

• Главная
• Исследования и анализ современных технологий
• IP-телефония
• Антенно-фидерные устройства
• Виртуальное построение рабочей локальной сети
• Влияние электромагнитного поля на подземную проволочную антенну
• Микрополосковая антенная решетка
• Система экологического мониторинга вредных газовых выбросов
• Организация процесса производства цифрового телевиденья

Устройство СЗМ Solver HV

Основные узлы СЗМ Solver HV представлены на рисунке 2.

Рисунок 2 - Основные узлы СЗМ Solver HV 1 - вакуумная камера: 2 - шкаф электроники; 3 - турбомолекулярный насос; 4 - виброизолирующий стол; 5 - видеомикроскоп: 6 - форвакуумный насос; 7 - система охлаждения

Вакуумная камера 1 (Рис. 2) установлена на виброизолирующем столе. Откачка воздуха из камеры производится форвакуумным 6 и турбомолекулярным 3 насосами. Контроль давления в камере осуществляется форвакуумным и высоковакуумным вакуумметрами.На Рис. 3 представлена блок-схема Solver HV. В камере на внутренней демпфирующей системе подвешена измерительная головка 2. Измерительная головка через переходные вакуумные разъёмы подключена к СЗМ контроллеру 5, который в свою очередь подключен к управляющему компьютеру.

Рисунок 3 - Блок-схема Solver HV: 1 - вакуумная камера, 2 - измерительная головка, 3 - турбомолекулярный, 4 - форвакуумным насос, 5 - СЗМ контроллер, 6 - компьютер, 7 - виброизолирующий стол

Самое читаемое:

Локальные системы автоматики
1). Закон регулирования - ПИД; критерий качества регулирования 20% перерегулирования (=20%). Рис. 1. Кривая разгона. Аппроксимация кривой разгона апериодическим звеном первого порядка с запаздыванием. Определение соотношения наклона угла (0.1 - 0.2). Рис. 2. Рассмотрим кривую разгона (рис. 1) с с ...