Основные узлы СЗМ Solver HV представлены на рисунке 2.
Рисунок 2 - Основные узлы СЗМ Solver HV 1 - вакуумная камера: 2 - шкаф электроники; 3 - турбомолекулярный насос; 4 - виброизолирующий стол; 5 - видеомикроскоп: 6 - форвакуумный насос; 7 - система охлаждения
Вакуумная камера 1 (Рис. 2) установлена на виброизолирующем столе. Откачка воздуха из камеры производится форвакуумным 6 и турбомолекулярным 3 насосами. Контроль давления в камере осуществляется форвакуумным и высоковакуумным вакуумметрами.На Рис. 3 представлена блок-схема Solver HV. В камере на внутренней демпфирующей системе подвешена измерительная головка 2. Измерительная головка через переходные вакуумные разъёмы подключена к СЗМ контроллеру 5, который в свою очередь подключен к управляющему компьютеру.
Рисунок 3 - Блок-схема Solver HV: 1 - вакуумная камера, 2 - измерительная головка, 3 - турбомолекулярный, 4 - форвакуумным насос, 5 - СЗМ контроллер, 6 - компьютер, 7 - виброизолирующий стол
Самое читаемое:
Вакуумные и плазменные приборы
Спроектировать электронно-оптическую систему
осциллографической трубки.
Исходные данные к проекту:
. Ускоряющее напряжение - 5 кВ.
. Ток эмиссии катода - 1 мА.
. Диаметр луча на экране - 0,5 мм.
. Развертка луча - линейная.
. Угол отклонения луча - 200.
Напряжение, В
6.3
...