Основными функциональными системами Solver HV являются:
вакуумная система;
виброизолирующая система;
измерительная система;
система управления;
система термостатнрования образца.
Вакуумная система
Вакуумная система содержит:
вакуумную камеру;
форвакуумный насос; турбомолекулярный насос (ТМИ) с контроллером;
вакуумметры с блоком питания;
вакуумную арматуру (клапаны, трубопровод, уплотнения и т.д.).
Откачка воздуха из камеры производится с помощью двух насосов: форвакуумный насос осуществляет предварительную откачку воздуха, турбомолекулярный обеспечивает получение высокого вакуума и поддержание уровня вакуума во время работы зондового микроскопа.
Конструктивные особенности и технические характеристики насосов приведены в технической документации на эти устройства.
Виброизолирующая система
Одним нз основных факторов, определяющих пространственное разрешение любого зондового микроскопа, является качественная виброизоляция. В Solver HV использована комбинация активной и пассивной виброизоляции.
Камера установлена на столе активной виброизоляции. Стол состоит из системы активной виброзащиты и пассивной виброзащиты находящейся внутри столешницы.
Внутри вакуумной камеры имеется устройство пассивной виброизоляции в виде подвеса на пружинах с магнитным успокоителем (Рис. 4). Резонансная частота пружинного подвеса составляет величину около 1 Гц.
Рисунок 4 - Пассивная виброизоляция 1 - пружинный подвес, 2 - арретир. 3 - магнитный успокоитель. 4 - опорное кольцо
Самое читаемое:
Микропроцессорныая система. Автоматический чайник
Микропроцессорные и информационно-управляющие системы, в настоящее
время, стали одним из наиболее дешевых и быстрых способов обработки информации.
Практически ни одна область современной науки и техники не обходиться без
использования их.
В настоящее время всё острее встают проблемы безопасности.
Практика показывает, что наибольш ...