Система управления Solver HV включает:
СЗМ контроллер:
Компьютер с интерфейсной платой;
Контроллер позиционера;
Контроллер электромагнита:
Термоконтроллер.
Управление контроллерами осуществляется через компьютер при помощи программы управления.
Контроллеры системы управления поставляются в двух вариантах:
расположенными в специальной стойке - шкафу электроники (см. Рис. 8);
в виде отдельных блоков.
Рисунок 8 - Шкаф электроники. 1 - термоконтроллер: 2 - СЗМ контроллер: 3 - контроллер виброзащитного стола:4 - контроллер генератора магнитного поля: 5 - компьютер; 6 - контроллер турбомолекулярного насоса: 7 - блок питания вакуумметров
Самое читаемое:
Оптимизация процесса напыления материала в магнетронной системе распыления
Оптимизировать
процесс напыления материала в магнетронной системе распыления: определить
расстояние от поверхности мишени, на котором можно получить заданную толщину
напыляемой пленки с требуемой неравномерностью при максимально возможной
скорости напыления.
Таблица
1. Вариант задания
№ варианта
...