![]()
,
тогда
![]()
,
![]()
.
Подставляем значения ![]()
в уравнение, получаем:
![]()
.(1.14)
Первый корень уравнения ![]()
=-0,12, ![]()
, второй и третий корень находится из выражения:
![]()
.(1.15)
Определим параметр ![]()
по формуле:
![]()
,(1.16)
![]()
.
Используя величину ![]()
получим искомое значение для величины ![]()
:
![]()
,(1.17)
![]()
.
Теперь
![]()
.
Протяженность активной части системы до поглощения:
![]()
,(1.18)
![]()
(см).
Протяженность поглотителя выбираем равной ![]()
(см), тогда общая длина замедляющей системы при определении ![]()
(см):
![]()
,(1.19)
![]()
(см).
Угол подъема спирали:
![]()
.(1.20)
Самое читаемое:
Оптимизация процесса напыления материала в магнетронной системе распыления
Оптимизировать
процесс напыления материала в магнетронной системе распыления: определить
расстояние от поверхности мишени, на котором можно получить заданную толщину
напыляемой пленки с требуемой неравномерностью при максимально возможной
скорости напыления.
Таблица
1. Вариант задания
№ варианта
...