Выбираем ориентировочные размеры МПИ в соответствии с соотношениями (стр. 36. [3]):
b
,
с - скорость света в вакууме
- частота излучения МПИ=fср=17.1 ГГц
где
- средняя длина волны рабочего диапазона в воздухе.
=0.48![]()
Рассчитываем ориентировочное значение толщины подложки h.
h/λ0=0.025
Самое читаемое:
Оптимизация процесса напыления материала в магнетронной системе распыления
Оптимизировать
процесс напыления материала в магнетронной системе распыления: определить
расстояние от поверхности мишени, на котором можно получить заданную толщину
напыляемой пленки с требуемой неравномерностью при максимально возможной
скорости напыления.
Таблица
1. Вариант задания
№ варианта
...