Расчёт ДН в H-плоскости производится по следующим формулам:
![]()
; ![]()
Рисунок 4.3 - Диаграмма направленности МПИ в Н-плоскости
Самое читаемое:
Оптимизация процесса напыления материала в магнетронной системе распыления
Оптимизировать
процесс напыления материала в магнетронной системе распыления: определить
расстояние от поверхности мишени, на котором можно получить заданную толщину
напыляемой пленки с требуемой неравномерностью при максимально возможной
скорости напыления.
Таблица
1. Вариант задания
№ варианта
...