Разделы сайта

Эффузионные ячейки

Эффузионная ячейка представляет цилиндрический резервуар (рисунок 2.2.1), выполненный из пиролитического нитрида бора, который выдерживает температуру около 1300oС без заметного испарения, или высокочистого графита. Его форма может быть цилиндрической или конической с различным углом сужения в зависимости от испаряемого материала. Толщина стенок должна быть относительно большой, чтобы выдерживать работу на протяжении нескольких месяцев[13]. Поверх тигля располагаются нагревательная спираль из танталовой проволоки и тепловой экран, изготовленный обычно из танталовой или молибденовой фольги[7].

Эффузионные ячейки могут работать в области температур до 1400o С и выдерживать кратковременный нагрев до 1600o С. Для испарения тугоплавких материалов, которые используются в технологии магнитных тонких пленок и многослойных структур, нагревание испаряемого материала осуществляется электронной бомбардировкой. Температура испаряемого вещества контролируется вольфрам-рениевой термопарой, прижатой к тиглю. Испаритель крепится на отдельном фланце, на котором имеются электрические выводы для питания нагревателя и термопары. Как правило, в одной ростовой камере располагается несколько испарителей, в каждом из которых размещены основные компоненты пленок и материалы легирующих примесей[12]. С целью предотвращения взаимного загрязнения и уменьшения теплового взаимодействия испарительные ячейки разделяют экранами, охлаждаемыми жидким азотом. Такой же экран помещают позади держателя образца для уменьшения загрязнения остаточной атмосферы в камере. С этой же целью держатели источников, подложки изготавливают из материалов с низким давлением паров, таких, как алунд, тантал, графит[7].

Рисунок 2.2.1 - Схема эффузионной ячейки: 1 - тигель; 2 - нагреватель; 3 - радиационный экран; 4 - термопара[11].

Источники молекулярных пучков нагреваются независимо, пока не будет достигнута требуемая величина выходящего из них потока осаждаемого материала. Изменение температуры эффузионной ячейки на полградуса приводит к изменению потока примерно на один процент. Чтобы контролировать толщину с точностью около 1% для управления температурой ячеек применяются высокостабильные устройства с обратной связью, состоящие из вольфрамо-рениевых термопар и контроллеров. Для предотвращения взаимного теплового влияния соседние ячейки разделены охлаждаемыми экранами.

Пока заслонка перед ячейкой закрыта, часть излучаемого тепла отражается от нее и возвращается обратно в ячейку. Поэтому открытие заслонки вызывает падение температуры ячейки, которое приводит к уменьшению потока вещества из нее на несколько процентов с характерной постоянной времени восстановления равновесия в несколько минут. Этот переходной процесс зависит от таких деталей конструкции как тип заслонки и ее местонахождение, устройство нагревательного элемента и расположение термопары контроллера[2].

Первый аналитические исследования по распределению потока проводлись на так называемых ячейках Кнудсена, с небольшими отверстиями, которые обеспечивают термодинамические равновесие между расплавом в ячейке и парами. Однако чаще в установках МЛЭ используют ячейки Люнгмюра. Из-за больших размеров выходного отверстия ячейки создание потока может быть достигнуто при более низкой температуре, чем в ячейках Кнудсена, что приводит к снижению энергопотребления и тепловой генерации примесей. Однако в данном типе ячейки поток определяется не только давлением пара, но и геометрией этой ячейки[13].

Перейти на страницу: 1 2

Самое читаемое:

Аппаратура цифровой радиосвязи в нелицензируемой полосе частот
Аппаратура цифровой радиосвязи предназначена для решения широкого круга задач беспроводной связи (дистанционного управления, телеметрии, сигнализации и оповещения) на небольших территориях. Она находит применение в инженерных системах жилых микрорайонов, в системах пожарной и охранной сигнализации, в производственно-технологических ...