Разделы сайта

СЗМ измерительная система

В состав СЗМ измерительной системы входят: - сканирующая измерительная головка; - платформа-позиционер.

Общий вид сканирующей измерительной головки представлен на Рис. 5.

Рисунок 5 - Основные элементы сканирующей измерительной головки 1 - основание: 2 - наконечник сканера: 3 - держатель зонда; 4 - винты позиционирования лазера: 5 - винты позиционирования фотодиода; 6 - винтовые опоры: 7 -стойки: 8 - моторизованная опора с шаговым двигателем; 9 - микровинт

нанострутктурированный поверхность исследование

Для наведения лазерного луча на кантилевер с помощью винтов позиционирования лазера (см. поз. 4 на Рис. 5) подбирают такое его положение, при котором лазерный луч будет попадать на кончик кантилевера.

Для установки и горизонтального выравнивания измерительная головка снабжена регулируемыми по высоте винтовыми опорами (см. поз. 6. 7 на Рис. 5). Две передние опоры с контргайками обеспечивают установку измерительной головки по высоте над образцом. Моторизованная опора с шаговым двигателем (см. поз. 8 на Рис. 5) используется для подвода зонда к образцу. Сканирующая измерительная головка снабжена стопками (см. поз. 7 на Рис. 5),на которые она устанавливается в перевернутом положении, например для замены зонда.

Автоматизированная платформа-позиционер

Общим вид автоматизированной платформы-позиционера представлен на Рис 6. Основными функциональными элементами платформы являются:

позиционер:

термостатирусмый держатель образца:

криопансль:

магнитопроводы.

Позиционер образца (см. поз. 2 на Рис. 6 а) обеспечивает автоматизированное перемещение образца в плоскости ХУ в диапазоне 4x4 мм. Посадочные гнезда (см.поз. 1 на Рис. 6 а) служат для установки измерительной головки.

Рисунок 6 - Платформа-позиционер. а) 1 - посадочные гнезда. 2 - позиционер образца, 3 - прорези для креппениямагнитопроводов

Рисунок 7 - Платформа-позиционер. б) 4 - криопанель. 5 - держатель образца, отверстия для присоединения хладопровода. 7 - магнитопроводы

Термостатируемый держатель образца (см. поз.5 на Рис. 6) является частью системы термостатирования. В нем расположены нагревательный и охлаждающий элементы, а также установлен терморезистор.

Криопанель 4 при помощи гибкогохладопровода соединяется с емкостью, заполненной жидким азотом, установленной на один из боковых фланцев камеры. Для охлаждения криопанели используется жидкий азот.

В платформе расположен электромагнит к которому крепятся магнитопроводы(см. поз. 3, 7 на Рис. 6). Магнитопроводы служат для создания в области образца магнитного поля, величиной до 1 кГаусс.направленного в плоскости образца. Зазор между полюсными наконечниками магнитопроводов составляет 12 мм. При необходимости (например, при исследовании образцов больших размеров без приложения магнитного поля)магнитопроводы легко снимаются.

Самое читаемое:

Конструкторско-технологическое проектирование печатной платы
печатная плата Проектирование печатных плат (ПП) представляет трудоемкий, но очень важный процесс. Для того, чтобы обеспечить функционирование электронной аппаратуры (ЭА) необходимы не только схемотехнические решения, функциональная точность, надежность, но и учет влияния внешней среды, конструктивных, эксплуатационных требований, пр ...