Разделы сайта

СЗМ измерительная система

В состав СЗМ измерительной системы входят: - сканирующая измерительная головка; - платформа-позиционер.

Общий вид сканирующей измерительной головки представлен на Рис. 5.

Рисунок 5 - Основные элементы сканирующей измерительной головки 1 - основание: 2 - наконечник сканера: 3 - держатель зонда; 4 - винты позиционирования лазера: 5 - винты позиционирования фотодиода; 6 - винтовые опоры: 7 -стойки: 8 - моторизованная опора с шаговым двигателем; 9 - микровинт

нанострутктурированный поверхность исследование

Для наведения лазерного луча на кантилевер с помощью винтов позиционирования лазера (см. поз. 4 на Рис. 5) подбирают такое его положение, при котором лазерный луч будет попадать на кончик кантилевера.

Для установки и горизонтального выравнивания измерительная головка снабжена регулируемыми по высоте винтовыми опорами (см. поз. 6. 7 на Рис. 5). Две передние опоры с контргайками обеспечивают установку измерительной головки по высоте над образцом. Моторизованная опора с шаговым двигателем (см. поз. 8 на Рис. 5) используется для подвода зонда к образцу. Сканирующая измерительная головка снабжена стопками (см. поз. 7 на Рис. 5),на которые она устанавливается в перевернутом положении, например для замены зонда.

Автоматизированная платформа-позиционер

Общим вид автоматизированной платформы-позиционера представлен на Рис 6. Основными функциональными элементами платформы являются:

позиционер:

термостатирусмый держатель образца:

криопансль:

магнитопроводы.

Позиционер образца (см. поз. 2 на Рис. 6 а) обеспечивает автоматизированное перемещение образца в плоскости ХУ в диапазоне 4x4 мм. Посадочные гнезда (см.поз. 1 на Рис. 6 а) служат для установки измерительной головки.

Рисунок 6 - Платформа-позиционер. а) 1 - посадочные гнезда. 2 - позиционер образца, 3 - прорези для креппениямагнитопроводов

Рисунок 7 - Платформа-позиционер. б) 4 - криопанель. 5 - держатель образца, отверстия для присоединения хладопровода. 7 - магнитопроводы

Термостатируемый держатель образца (см. поз.5 на Рис. 6) является частью системы термостатирования. В нем расположены нагревательный и охлаждающий элементы, а также установлен терморезистор.

Криопанель 4 при помощи гибкогохладопровода соединяется с емкостью, заполненной жидким азотом, установленной на один из боковых фланцев камеры. Для охлаждения криопанели используется жидкий азот.

В платформе расположен электромагнит к которому крепятся магнитопроводы(см. поз. 3, 7 на Рис. 6). Магнитопроводы служат для создания в области образца магнитного поля, величиной до 1 кГаусс.направленного в плоскости образца. Зазор между полюсными наконечниками магнитопроводов составляет 12 мм. При необходимости (например, при исследовании образцов больших размеров без приложения магнитного поля)магнитопроводы легко снимаются.

Самое читаемое:

Логический синтез цифровых устройств
.1. Объект представляет собой техническое устройство, в которое поступают различные детали. Имеются 5 датчиков, которые определяют соответствие деталей ("да"-"нет") некоторым параметрам (размер, форма, цвет, конфигурация и т.п.). В зависимости от комбинации сигналов датчиков f(X5,X4,X3,X2,X1) детали сортируются и ...