в состав комплекса МЛЭ модули соединяются между собой шлюзовыми устройствами и системой перемещения подложек и образцов из одного модуля к другой без нарушения вакуума.
Рисунок 1.2 - Схема установки МЛЭ[12].
Самое читаемое:
Многоканальные системы передачи
ним относятся: возможность передачи всех видов аналоговых
и дискретных сигналов; простое объединение, разделение и транзит передаваемых
сигналов; возможность взаимодействия ЦСП с аналоговыми системами, высокая
помехоустойчивость; малая зависимость качества передачи от длины линии связи;
стабильность параметров каналов ЦСП; высокие техни ...