в состав комплекса МЛЭ модули соединяются между собой шлюзовыми устройствами и системой перемещения подложек и образцов из одного модуля к другой без нарушения вакуума.
Рисунок 1.2 - Схема установки МЛЭ[12].
Самое читаемое:
Разработка пакета учебно-прикладных программ по дисциплине Проектирование интегральных микросхем
Целью данной дипломной работы является разработка пакета
учебно-прикладных программ по дисциплине «Проектирование интегральных
микросхем».
Данный пакет предназначен для изучения студентами:
технологии полупроводниковых интегральных микросхем на биполярных
транзисторах;
основных принципов проектирования полупро ...