в состав комплекса МЛЭ модули соединяются между собой шлюзовыми устройствами и системой перемещения подложек и образцов из одного модуля к другой без нарушения вакуума.
Рисунок 1.2 - Схема установки МЛЭ[12].
Самое читаемое:
Разработка методики монтажа и эксплуатации вычислителя тепла
расход тепло монтаж теплосчетчик
Автоматизация производства представляет собой процесс
передачи функции контроля и управления производством от человека автоматическим
устройством.
При создании автоматизированных систем следует
принимать во внимание уровень технологии и оборудования, состояние организации
и управления производством ...